EM 系列是安新針對電器與電子元件檢測所開發(fā)的熱輻射顯微鏡 (專利第 M609641 號)，整合高性能的紅外線相機，能檢測半導體元件或顯示面板，精準的找出問題發(fā)生處，為失效分析 Failure Analysis 的強大工具

 

? 溫度靈敏

? 高光學解析

? 快速響應

? 精準分析

---

產品特點

 

◢ 靈敏的溫度解析度

為偵測樣品異常產生的熱輻射，EM 系列透過搭配室溫型或 InSb 製冷型相機，熱靈敏度達 20 mK*

以獲得低雜訊的影像。透過光學量測，達到避免量測誤差且能同時記錄多個量測點

適用於非接觸式量測大面積或複雜的表面溫度

左圖為 IC 在金相顯微鏡 (左) 與 EM-7K 的量測結果 (右) 比較，綠框為漏電流發(fā)生處

 

  

 

 

◢ 優(yōu)異的光學解析度

EM 系列所使用的相機解析度最低 640 x 480 或更高*，提供清晰的結果

交換式鏡頭設計，放大倍率最高至 8X (1.25um/pixel) 靈活搭配

不會影響待測物的高頻阻抗與其散熱，因此可精密的檢測出缺陷並精準的定位

左圖為 IC 在不同放大倍率鏡頭下的量測結果與各不同倍率的鏡頭

 

  

 

 

 

整合精密運動平臺*

搭配軟體自動拼圖為更視野且高解析度的溫度分布影像

解析度最高為 9600 x 7680，量測範圍達到整張電路板並支援分析

左圖為 EM-6K 量測電路板的結果，解析度為 5400 x 4050

中間格放處為 640 x 512

 

  

 

 

 ◢ 超高的時間解析度

在解析度 640 x 512 時，每秒鐘最高擷取 1000 張的高速取樣*

若使用格放模式，更可高達每秒 30,000 張的能力，完整記錄瞬間的溫度變化，便於訊號處理與分析

左圖為 EM-8K 量測指紋辨識 IC 的結果，綠框為漏電流處

*各解析度規(guī)格與功能會依型號會有所差異

 

 

 

  

◢ 精確的訊號分析

因現(xiàn)今電路設計於更低的電壓與更小的耗電下操作，所造成的瑕疵偵測更為不易

相同的現(xiàn)象也在發(fā)生於面板，由於 Mini LED 或 Micro LED 的晶片更小，而難以傳統(tǒng)設備檢測

因此 EM 系列搭配強大的影像處理，能提供別於傳統(tǒng)紅外線影像，達到準確的量測結果

左圖為 Mini LED 面板瑕疵檢測，單由紅外線影像 (左) 無法確認瑕疵位置

而經分析後結果 (右) 則如綠框所示與其放大，清楚呈現(xiàn)問題處

 

---

產品應用

小至積體電路，大至電路板或顯示面板的檢測，包含：

〆 溫度分布

〆 熱點偵測

〆 短路缺陷

〆 阻抗異常

〆 漏電流偵測

 

來源出處 安新精密科技